Детальная информация
Название | Многоострийные полевые эмиттеры для высоковольтных электронных устройств: автореф. дис. … канд. физ.-мат. наук: 01.04.04 |
---|---|
Авторы | Тарадаев Евгений Петрович |
Научный руководитель | Соминский Геннадий Гиршевич |
Организация | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого |
Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2017 |
Коллекция | Научные работы аспирантов/докторантов ; Общая коллекция |
Тематика | Эмиттеры ; Наноструктурные материалы ; Фуллерены ; Металлопокрытия в вакууме ; Микроэлектроника |
УДК | 621.3.032.273:621.382.323(043.3) ; 539.23:620.22-022.53(043.3) ; 621.38.049.77(043.3) |
Тип документа | Автореферат |
Тип файла | |
Язык | Русский |
DOI | 10.18720/SPBPU/2/r17-32 |
Права доступа | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\38879 |
Дата создания записи | 03.05.2017 |
В диссертации разработаны двухслойные наноструктурированные металл-фуллереновые покрытия для многоострийных кремниевых структур, обеспечивающие повышение их проводимости и прочности, а также защиту структур от разрушающего действия ионной бомбардировки. Кроме того, получены данные о формировании с помощью электроэрозионной обработки многоострийных молибденовых структур и их функционировании с защитными фуллереновыми покрытиями. Созданные и исследованные многоострийные структуры с такими покрытиями представляют большой практический интерес, так как могут быть использованы в качестве стабильных источников полевой эмиссии в высоковольтных электронных приборах, работающих в техническом вакууме.
Количество обращений: 770
За последние 30 дней: 6