Details

Title: Проектирование и расчет химических микрореакторов для использования в технологии устройств микросистемной техники: автореф. дис. … канд. техн. наук: 05.27.06
Creators: Конаков Степан Андреевич
Scientific adviser: Кржижановская Валерия Владимировна
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Imprint: Санкт-Петербург, 2018
Collection: Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция
Subjects: Электронные приборы — Производство - Оборудование; Осаждение (хим. ); Травление металлов; Пленки тонкие — Получение
UDC: 621.793.3(043.3); 621.794.44(043.3); 539.23(043.3)
Document type: Author's Abstract
File type: PDF
Language: Russian
DOI: 10.18720/SPBPU/2/r18-45
Rights: Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение)

Allowed Actions:

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

В работе описаны новые методы проектирования и расчета химических микрореакторов. Показаны теоретические и экспериментальные результаты для реакторов с жидкой и с газовой фазой. Даны примеры практического применения микрореакторов в технологии производства устройств микросистемной техники.

Document access rights

Network User group Action

Usage statistics

stat Access count: 2
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics