Details

Title: Исследование процесса термической диссоциации нитрида галлия при воздействии инфракрасного лазерного излучения: автореф. дис. … канд. физ.-мат. наук: 01.04.10
Creators: Вирко Максим Викторович
Scientific adviser: Шретер Юрий Георгиевич
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Imprint: Санкт-Петербург, 2017
Collection: Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция
Subjects: Галлий, нитриды; Полупроводниковые структуры; Полупроводниковые пленки — Получение; Генераторы квантовые — Применение
UDC: 539.23(043.3); 537.311.322(043.3); 621.373.8(043.3)
Document type: Author's Abstract
File type: PDF
Language: Russian
DOI: 10.18720/SPBPU/2/r18-5
Rights: Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Allowed Actions: Read Download (1.1 Mb)

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

В диссертационной работе проведено исследование физических процессов, происходящих при отделении тонких слоев GaN от ростовой подложки применительно к задаче разработки технологии клонирования подложек GaN. Теоретически показано и экспериментально подтверждено, что эффект поглощения излучения свободными носителями заряда в пленках GaN и фононами в сапфировых подложках может быть использован для отделения структур на основе GaN от ростовых подложек. Показано, что эффект нелинейного многофотонного поглощения лазерного излучения может быть использован для отделения структур на основе GaN от объемных кристаллов GaN.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
-> Internet All Read Print Download

Usage statistics

stat Access count: 127
Last 30 days: 6
Detailed usage statistics