?

Details
Table Card RUSMARC
Title: Физико-технологические основы и пути совершенствования технологии получения кристаллов сапфира для электронной техники: автореф. дис. … д-ра техн. наук: 05.27.06
Creators: Клунникова Юлия Владимировна
Other creators: Малюков Сергей Павлович; Филимонов Алексей Владимирович
Organization: Южный федеральный университет (ЮФУ); Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Imprint: Санкт-Петербург, 2019
Collection: Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция
Subjects: Сапфир; Кристаллы — Выращивание; Кристаллизация направленная; Микроэлектроника; Пленки тонкие — Получение — Применение плазмы
UDC: 548.5:549.517.14(043.3); 539.216.2(043.3)
Document type: Author's Abstract
File type: PDF
Language: Russian
DOI: 10.18720/SPBPU/2/r19-19
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)
Record key: RU\SPSTU\edoc\60820

Allowed Actions: –

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Проведен комплекс теоретических и экспериментальных исследований по усовершенствованию технологии получения кристаллов сапфира для электронной техники. На основе исследований роста кристаллов сапфира методом горизонтальной направленной кристаллизации и новых аналитических и экспериментальных данных определены условия, позволяющие получать кристаллы высокого качества. Усовершенствована технология получения подложек из сапфира для интегральных схем, газочувствительных датчиков и защитных покрытий на базе разработанных физико-технологических основ получения кристаллов сапфира.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read
Internet Authorized users SPbPU Read
-> Internet Anonymous

Usage statistics

stat Access count: 26
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics