Детальная информация
| Название | Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры: автореф. дис. … канд. техн. наук: 05.27.06 |
|---|---|
| Авторы | Эннс Яков Борисович |
| Научный руководитель | Пятышев Евгений Нилович |
| Организация | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого |
| Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2019 |
| Коллекция | Научные работы аспирантов/докторантов ; Общая коллекция |
| Тематика | Пленки тонкие ; Микроэлектронные схемы интегральные — Производство ; Микроэлектронная аппаратура ; Упругие системы — Устойчивость ; Колебания ; микросистемная техника |
| УДК | 531.36(043.3) ; 539.216.2(043.3) |
| Тип документа | Автореферат |
| Тип файла | |
| Язык | Русский |
| DOI | 10.18720/SPBPU/2/r19-20 |
| Права доступа | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\60870 |
| Дата создания записи | 26.03.2019 |
Диссертационное исследование посвящено разработке конструкции, методов управления и технологии изготовления нелинейных микромеханических структур с потерей устойчивости. В рамках работы были получены новые данные о механических свойствах тонкопленочных металлических композиций и динамическом поведении нелинейных микросистем. Теоретические данные, полученные в ходе численного моделирования поведения нелинейных микромеханических элементов, подтверждаются экспериментально на изготовленных прототипах устройств. Полученные результаты дают возможность совершенствования технологических и конструкционных методов проектирования и изготовления устройств микросистемной техники.
| Место доступа | Группа пользователей | Действие |
|---|---|---|
| Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все |
|
| Интернет | Все |
|
Количество обращений: 545
За последние 30 дней: 11
