Кобелев, Антон Андреевич. Анализ потоков ионов из ВЧ газового разряда, используемого для процессов модификации поверхности твердого тела: специальность 01.04.04 "Физическая электроника": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Кобелев Антон Андреевич; научный руководитель А. С. Смирнов ; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. — Санкт-Петербург, 2019. — 1 файл (1513 Кб). — Загл. с титул. экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/r19-50.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/2/r19-50. — Текст: электронный
Period
|
Read
|
Print
|
Copy
|
Open
|
Total
|
Year 2019
|
Quarter 4
|
9
|
0
|
4
|
0
|
13
|
Year 2020
|
Quarter 1
|
5
|
0
|
10
|
0
|
15
|
Quarter 2
|
13
|
0
|
1
|
0
|
14
|
Quarter 3
|
4
|
0
|
0
|
0
|
4
|
Quarter 4
|
6
|
0
|
9
|
0
|
15
|
Year 2021
|
Quarter 1
|
7
|
0
|
12
|
0
|
19
|
Quarter 2
|
9
|
0
|
4
|
0
|
13
|
Quarter 3
|
7
|
0
|
10
|
0
|
17
|
Quarter 4
|
8
|
0
|
15
|
0
|
23
|
Year 2022
|
Quarter 1
|
4
|
0
|
17
|
0
|
21
|
Quarter 2
|
10
|
0
|
17
|
0
|
27
|
Quarter 3
|
10
|
0
|
8
|
0
|
18
|
Quarter 4
|
19
|
0
|
17
|
0
|
36
|
Year 2023
|
Quarter 1
|
11
|
0
|
31
|
0
|
42
|
Quarter 2
|
4
|
0
|
18
|
0
|
22
|
Quarter 3
|
4
|
0
|
17
|
0
|
21
|
Quarter 4
|
6
|
0
|
25
|
0
|
31
|
Year 2024
|
Quarter 1
|
1
|
0
|
22
|
0
|
23
|
Quarter 2
|
1
|
0
|
11
|
0
|
12
|
Total
|
138
|
0
|
248
|
0
|
386
|