Детальная информация
Название | Плазменные процессы роста и травления нитридных материалов: специальность 01.04.08 "Физика плазмы": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук |
---|---|
Авторы | Барсуков Юрий Владимирович |
Научный руководитель | Смирнов Александр Сергеевич |
Организация | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого |
Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2022 |
Электронная публикация | Санкт-Петербург |
Коллекция | Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция |
Тематика | Плазма (физ.); Кремний, нитриды; Травление металлов; травление; нанотрубки; оксид кремния; фтороводород |
УДК | 533.9; 546.28'171.1; 621.794.4 |
Тип документа | Автореферат |
Тип файла | |
Язык | Русский |
Код специальности ОКСВНК | 01.04.08 |
Группа специальностей ОКСВНК | 010000 - Физико-математические науки |
DOI | 10.18720/SPBPU/2/r22-21 |
Права доступа | Свободный доступ из сети Интернет (чтение) |
Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\67954 |
Дата создания записи | 16.03.2022 |
Группа | Анонимные пользователи |
---|---|
Сеть | Интернет |
Диссертация посвящена селективному плазменному травлению нитрида и высокотемпературному синтезу нанотрубок нитрида бора. В работе впервые показано, что колебательно возбужденные молекулы фтороводорода инициируют травление нитрида кремня без травления оксида кремния. Предложена аналитическая модель, описывающая скорость травления нитрида и оксида кремния от концентраций реагентов, таких как HF(v0), HF(v1), H2O, F. Впервые предложен подробный механизм образования прекурсоров роста нанотрубок нитрида бора при высокотемпературном синтезе в смеси B/N2. Показано, что фиксация молекулярного и потребление бора – это связанные процессы, которые протекают в неравновесном режиме при типичных для синтеза скоростях охлаждения газа. Показано, что высокое давление, медленная скорость охлаждения газа и низкая начальная концентрация бора смещают реакции образования прекурсоров в сторону равновесия, что в свою очередь увеличивает эффективность потребления бора.
Количество обращений: 115
За последние 30 дней: 2