Диссертация посвящена селективному плазменному травлению нитрида и высокотемпературному синтезу нанотрубок нитрида бора. В работе впервые показано, что колебательно возбужденные молекулы фтороводорода инициируют травление нитрида кремня без травления оксида кремния. Предложена аналитическая модель, описывающая скорость травления нитрида и оксида кремния от концентраций реагентов, таких как HF(v0), HF(v1), H2O, F. Впервые предложен подробный механизм образования прекурсоров роста нанотрубок нитрида бора при высокотемпературном синтезе в смеси B/N2. Показано, что фиксация молекулярного и потребление бора – это связанные процессы, которые протекают в неравновесном режиме при типичных для синтеза скоростях охлаждения газа. Показано, что высокое давление, медленная скорость охлаждения газа и низкая начальная концентрация бора смещают реакции образования прекурсоров в сторону равновесия, что в свою очередь увеличивает эффективность потребления бора.