В диссертационной работе исследовано течение в плоском сверхзвуковом сопле аэродинамического распылителя, предназначенного для подачи вязких высококипящих реагентов. Построена и экспериментально проверена численная модель течения вязкого сжимаемого газа в проточной части распылителя с косыми скачками уплотнения. Исследовано течение с испарением аэрозоля в потоке газа в проточной части испарителя. Построена и экспериментально проверена численная модель расчёта мощности нагревателей для определения оптимального режима работы испарителя. Результаты использованы для конструирования системы подачи кремнийорганических реагентов в водород-кислородные горелки для осуществления химического осаждения из газовой фазы диоксида кремния высокой чистоты.