Клейманов, Роман Валерьевич. Разработка системы подачи вязких высококипящих реагентов для процессов химического осаждения из газовой фазы: специальность 2.2.3. Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Клейманов Роман Валерьевич; научный руководитель Александров Сергей Евгеньевич; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. — Санкт-Петербург, 2023. — 1 файл (535 Кб). — Загл. с титул. экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/r23-13.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/2/r23-13. — Текст: электронный