Details
| Title | Закономерности низкотемпературного плазмохимического осаждения покрытий SiOxCyHz на полимеры при атмосферном давлении: специальность 2.6.6. Нанотехнологии и наноматериалы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук |
|---|---|
| Creators | Биль Анастасия Сергеевна |
| Scientific adviser | Александров Сергей Евгеньевич |
| Organization | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого |
| Imprint | Санкт-Петербург, 2024 |
| Collection | Научные работы аспирантов/докторантов ; Общая коллекция |
| Subjects | Нанотехнологии ; Осаждение (хим.) ; Полимеры — Химия ; Поликарбонаты ; Пленки тонкие ; плазмохимическое осаждение при атмосферном давлении ; диэлектрический барьерный разряд |
| UDC | 620.3; 542.65; 544.16 |
| Document type | Author's Abstract |
| Language | Russian |
| Speciality code (OKSVNK) | 2.6.6. |
| Speciality group (OKSVNK) | 2.0000 |
| DOI | 10.18720/SPBPU/2/r24-63 |
| Rights | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Record key | RU\SPSTU\edoc\73998 |
| Record create date | 9/26/2024 |
Работа описывает физико-химические закономерности формирования тонких слоев состава SiOxCyHz на полимерных подложках в низкотемпературной плазме барьерного разряда при атмосферном давлении. Описаны обнаруженные зависимости скоростей роста, химического состава и различных свойств тонких пленок, важных с практической точки зрения, от значения варьируемых параметров процесса осаждения. Проведено сравнение свойств покрытий, осажденных с использованием тетраэтоксисилана и гексаметилдисилоксана. Дано обоснование различия этих свойств, исходя из различия их химической природы.
| Network | User group | Action |
|---|---|---|
| ILC SPbPU Local Network | All |
|
| Internet | All |
|
...
