Детальная информация
Название | Закономерности низкотемпературного плазмохимического осаждения покрытий SiOxCyHz на полимеры при атмосферном давлении: специальность 2.6.6. Нанотехнологии и наноматериалы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук |
---|---|
Авторы | Биль Анастасия Сергеевна |
Научный руководитель | Александров Сергей Евгеньевич |
Организация | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого |
Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2024 |
Коллекция | Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция |
Тематика | Нанотехнология; Осаждение (хим.); Полимеры — Химия; Поликарбонаты; Пленки тонкие; плазмохимическое осаждение при атмосферном давлении; диэлектрический барьерный разряд |
УДК | 620.3; 542.65; 544.16 |
Тип документа | Автореферат |
Тип файла | |
Язык | Русский |
Код специальности ОКСВНК | 2.6.6. |
Группа специальностей ОКСВНК | 2.0000 |
DOI | 10.18720/SPBPU/2/r24-63 |
Права доступа | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
Дополнительно | Новинка |
Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\73998 |
Дата создания записи | 26.09.2024 |
Работа описывает физико-химические закономерности формирования тонких слоев состава SiOxCyHz на полимерных подложках в низкотемпературной плазме барьерного разряда при атмосферном давлении. Описаны обнаруженные зависимости скоростей роста, химического состава и различных свойств тонких пленок, важных с практической точки зрения, от значения варьируемых параметров процесса осаждения. Проведено сравнение свойств покрытий, осажденных с использованием тетраэтоксисилана и гексаметилдисилоксана. Дано обоснование различия этих свойств, исходя из различия их химической природы.
Количество обращений: 25
За последние 30 дней: 3