Закономерности низкотемпературного плазмохимического осаждения покрытий SiOxCyHz на полимеры при атмосферном давлении: специальность 2.6.6. Нанотехнологии и наноматериалы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук

Информация о документе