Пособие соответствует СУОС по направлению подготовки 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» профиль. Рассматриваются основы процессов плазмохимического травления материалов, широко применяемых в микроэлектронике и микросистмной технике. Основное внимание уделяется рассмотрению сущности процессов траления, основанных на применении низкотемпературной газоразрядной плазмы, трудностям, возникающим при их реализации, характеру влияния основных технологических параметров на результат травления. Содержание пособия опирается на последние достижения в области технологии микроэлектроники и микросистемной техники, публикуемые в учебной литературе и научных журналах. Предназначено для студентов, обучаемых по основной образовательной программе высшего образования 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» (профиль 28.03.01_01 «Технология материалов и изделий микросистемной техники»), а также аспирантам, обучающимся по специальности 05.27.06 ") «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники».