Детальная информация
Название | Основы процессов плазмохимического травления: учебное пособие |
---|---|
Авторы | Александров Сергей Евгеньевич |
Организация | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого |
Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2020 |
Коллекция | Учебная и учебно-методическая литература ; Общая коллекция |
Тематика | Плазмохимия ; Травление металлов |
УДК | 621.794.44(075.8) |
Тип документа | Учебник |
Тип файла | |
Язык | Русский |
DOI | 10.18720/SPBPU/2/s20-26 |
Права доступа | Доступ из локальной сети ИБК СПбПУ (чтение) |
Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\62193 |
Дата создания записи | 27.02.2020 |
Разрешенные действия
–
Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Группа | Анонимные пользователи |
---|---|
Сеть | Интернет |
Пособие соответствует СУОС по направлению подготовки 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» профиль. Рассматриваются основы процессов плазмохимического травления материалов, широко применяемых в микроэлектронике и микросистмной технике. Основное внимание уделяется рассмотрению сущности процессов траления, основанных на применении низкотемпературной газоразрядной плазмы, трудностям, возникающим при их реализации, характеру влияния основных технологических параметров на результат травления. Содержание пособия опирается на последние достижения в области технологии микроэлектроники и микросистемной техники, публикуемые в учебной литературе и научных журналах. Предназначено для студентов, обучаемых по основной образовательной программе высшего образования 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» (профиль 28.03.01_01 «Технология материалов и изделий микросистемной техники»), а также аспирантам, обучающимся по специальности 05.27.06 ") «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники».
Место доступа | Группа пользователей | Действие |
---|---|---|
Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все |
|
Интернет | Анонимные пользователи |
|
Количество обращений: 51
За последние 30 дней: 0