Учебное пособие предназначено для студентов СПбПУ, изучающих дисциплину «Основы технологии электронной компонентной базы», которая входит в учебный план подготовки по направлению 11.03.04 Электроника и наноэлектроника СУОС СПбПУ. В учебном пособии рассмотрены физические основы технологических процессов кремниевой микро-и наноэлектроники, формирования микро- и наноразмерных структур, приведены примерные задачи и многочисленные справочные материалы, необходимые для решения задач и самостоятельной работы по курсу. Реализация технологических процессов рассмотрена на примере биполярных и МОП-структур интегральных схем с малыми размерами элементов. Решение проблемно-ориентированных задач по курсу позволяет закрепить основные положения, рассматриваемые в курсе «Основы технологии электронной компонентной базы», приобрести навыки самостоятельного использования положений и соответствующих формул для количественных расчетов технологических процессов, используемых в микро – и наноэлектронике; ознакомить как с типичными, так и с комплексными проблемно-ориентированными задачами по анализу, расчету и проектированию элементов микроэлектроники. Учебное пособие предназначено для студентов СПбПУ, обучающихся по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть также использовано студентами, обучающимися по направлению «Техническая физика», «Инфо-коммуникационные технологии», в системах повышения квалификации и дополнительного образования.