Details

Title: Методы и приборы для анализа наноструктур и наноматериалов. На примере установки Нанофаб 25: учебное пособие
Creators: Шахмин Александр Львович
Organization: Санкт-Петербургский государственный политехнический университет
Imprint: Санкт-Петербург: Изд-во Политехн. ун-та, 2011
Electronic publication: Санкт-Петербург, 2020
Collection: Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция
Subjects: Наноструктурные материалы; Спектроскопия электронная — Аппаратура; Оже спектроскопия
UDC: 620.22-022.53(075.8); 537.533.3(075.8)
Document type: Tutorial
File type: PDF
Language: Russian
Speciality code (FGOS): 28.00.00
Speciality group (FGOS): 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы
DOI: 10.18720/SPBPU/2/si20-1759
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key: RU\SPSTU\edoc\64735

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Представлено описание комплексной установки Нанофаб 25, предназначенной для модификации и исследования поверхности твердого тела. Приведено краткое описание физических основ реализованных в установке методов исследования поверхности.Описаны основные модули и методики юстировки и проведения экспериментов методами электронной спектроскопии, по проведению профильного анализа. Даны рекомендации по параметрам проведения экспериментов с учетом специфики конструкции модулей установки. Перечислены основные требования по обеспечению штатного функционирования установки и даны рекомендации по проведению технического обслуживания.Предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению «Технология наноматериалов и компонентов электронной техники» и специальностям в области материаловедения и электронных технологий при изучении дисциплины «Методы и приборы для изучения, анализа и диагностики наночастиц и наноматериалов». Пособие может быть полезно для студентов, обучающихся по другим специальностям.

Печатается по решению редакционно-издательского совета Санкт-Петербургского государственного политехнического университета.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
External organizations N2 All Read
External organizations N1 All Read
Internet Authorized users SPbPU Read Print Download
Internet Authorized users (not from SPbPU) Read
-> Internet Anonymous

Table of Contents

  • ОГЛАВЛЕНИЕ
  • СПИСОК ПРИНЯТЫХ СОКРАЩЕНИИ
  • ВВЕДЕНИЕ
  • 1. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ ВАКУУМНОЙ СИСТЕМЫ И ТРАНСПОРТА ОБРАЗЦОВ ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ АНАЛИЗА IN SITU
  • 2. ТРЕБОВАНИЯ К ОБРАЗЦАМ. ПОДГОТОВКА ПОВЕРХНОСТИ ОБРАЗЦОВ ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ АНАЛИЗА
  • 3. ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ КОМПЛЕКСНОЙ УСТАНОВКИ НАНОФАБ 25
  • 4. ЭЛЕКТРОННЫЙ СПЕКТРОМЕТР. ОСНОВНЫЕ РЕЖИМЫ И ОСОБЕННОСТИ РАБОТЫ ЭНЕРГОАНАЛИЗАТОРА
  • 5. АНАЛИЗ ПОВЕРХНОСТИ МЕТОДОМ РФС
  • 6. АНАЛИЗ ПОВЕРХНОСТИ МЕТОДОМ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИИ
  • 7. УЛЬТРАФИОЛЕТОВАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ В НАНОФАБ 25
  • 8. ПРОФИЛЬНЫЙ АНАЛИЗ С ПОМОЩЬЮ ИСТОЧНИКА ИОНОВ
  • 9. ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ ВОЗМОЖНОСТИ И ОСОБЕННОСТИ ЭКСПЛУАТАЦИИ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКОЙ ЧАСТИ УСТАНОВКИ НАНОФАБ 25
  • 10. ОСОБЕННОСТИ ТЕХНИЧЕСКОГО ОБСЛУЖИВАНИЯ НАНОФАБ 25
  • БИБЛИОГРАФИЧЕСКИМ СПИСОК

Usage statistics

stat Access count: 12
Last 30 days: 2
Detailed usage statistics