Детальная информация

Название: Методы и приборы для анализа наноструктур и наноматериалов. На примере установки Нанофаб 25: учебное пособие
Авторы: Шахмин Александр Львович
Организация: Санкт-Петербургский государственный политехнический университет
Выходные сведения: Санкт-Петербург: Изд-во Политехн. ун-та, 2011
Электронная публикация: Санкт-Петербург, 2020
Коллекция: Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция
Тематика: Наноструктурные материалы; Спектроскопия электронная — Аппаратура; Оже спектроскопия
УДК: 620.22-022.53(075.8); 537.533.3(075.8)
Тип документа: Учебник
Тип файла: PDF
Язык: Русский
Код специальности ФГОС: 28.00.00
Группа специальностей ФГОС: 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы
DOI: 10.18720/SPBPU/2/si20-1759
Права доступа: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Ключ записи: RU\SPSTU\edoc\64735

Разрешенные действия:

Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

Представлено описание комплексной установки Нанофаб 25, предназначенной для модификации и исследования поверхности твердого тела. Приведено краткое описание физических основ реализованных в установке методов исследования поверхности.Описаны основные модули и методики юстировки и проведения экспериментов методами электронной спектроскопии, по проведению профильного анализа. Даны рекомендации по параметрам проведения экспериментов с учетом специфики конструкции модулей установки. Перечислены основные требования по обеспечению штатного функционирования установки и даны рекомендации по проведению технического обслуживания.Предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению «Технология наноматериалов и компонентов электронной техники» и специальностям в области материаловедения и электронных технологий при изучении дисциплины «Методы и приборы для изучения, анализа и диагностики наночастиц и наноматериалов». Пособие может быть полезно для студентов, обучающихся по другим специальностям.

Печатается по решению редакционно-издательского совета Санкт-Петербургского государственного политехнического университета.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
Интернет Авторизованные пользователи СПбПУ Прочитать Печать Загрузить
-> Интернет Анонимные пользователи

Оглавление

  • ОГЛАВЛЕНИЕ
  • СПИСОК ПРИНЯТЫХ СОКРАЩЕНИИ
  • ВВЕДЕНИЕ
  • 1. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ ВАКУУМНОЙ СИСТЕМЫ И ТРАНСПОРТА ОБРАЗЦОВ ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ АНАЛИЗА IN SITU
  • 2. ТРЕБОВАНИЯ К ОБРАЗЦАМ. ПОДГОТОВКА ПОВЕРХНОСТИ ОБРАЗЦОВ ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ АНАЛИЗА
  • 3. ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ КОМПЛЕКСНОЙ УСТАНОВКИ НАНОФАБ 25
  • 4. ЭЛЕКТРОННЫЙ СПЕКТРОМЕТР. ОСНОВНЫЕ РЕЖИМЫ И ОСОБЕННОСТИ РАБОТЫ ЭНЕРГОАНАЛИЗАТОРА
  • 5. АНАЛИЗ ПОВЕРХНОСТИ МЕТОДОМ РФС
  • 6. АНАЛИЗ ПОВЕРХНОСТИ МЕТОДОМ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИИ
  • 7. УЛЬТРАФИОЛЕТОВАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ В НАНОФАБ 25
  • 8. ПРОФИЛЬНЫЙ АНАЛИЗ С ПОМОЩЬЮ ИСТОЧНИКА ИОНОВ
  • 9. ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ ВОЗМОЖНОСТИ И ОСОБЕННОСТИ ЭКСПЛУАТАЦИИ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКОЙ ЧАСТИ УСТАНОВКИ НАНОФАБ 25
  • 10. ОСОБЕННОСТИ ТЕХНИЧЕСКОГО ОБСЛУЖИВАНИЯ НАНОФАБ 25
  • БИБЛИОГРАФИЧЕСКИМ СПИСОК

Статистика использования

stat Количество обращений: 28
За последние 30 дней: 1
Подробная статистика