Сорокин, Лев Михайлович. Физические основы дифракционных методов и их применение для выявления и анализа дефектной структуры материалов микро- и наноэлектроники: учебное пособие / Л. М. Сорокин; Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. — Санкт-Петербург: Изд-во Политехн. ун-та, 2011 (Санкт-Петербург, 2020). — 1 файл (5,41 Мб). — Загл. с титул. экрана. — Цифровая копия печатной публикации 2011 г. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/si20-1799.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/2/si20-1799. — Текст: электронный
|
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
|
Год 2021
|
Квартал 2
|
0
|
0
|
2
|
0
|
2
|
|
Квартал 3
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Квартал 4
|
0
|
0
|
1
|
0
|
1
|
|
Год 2022
|
Квартал 1
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Квартал 2
|
0
|
0
|
1
|
0
|
1
|
|
Квартал 3
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 4
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Год 2023
|
Квартал 1
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Квартал 2
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 3
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Квартал 4
|
1
|
0
|
1
|
0
|
2
|
|
Всего
|
6
|
0
|
5
|
0
|
11
|
