Детальная информация

Название: Плазмохимические процессы и оборудование: учебное пособие
Авторы: Александров Сергей Евгеньевич; Уваров Андрей Анатольевич
Организация: Санкт-Петербургский государственный политехнический университет
Выходные сведения: Санкт-Петербург: Изд-во Политехн. ун-та, 2012
Электронная публикация: Санкт-Петербург, 2020
Коллекция: Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция
Тематика: Вакуумное оборудование; Плазмохимия
УДК: 621.52(075.8); 533.9(075.8)
Тип документа: Учебное издание
Тип файла: PDF
Язык: Русский
Код специальности ФГОС: 22.00.00
Группа специальностей ФГОС: 220000 - Технологии материалов
DOI: 10.18720/SPBPU/2/si20-676
Права доступа: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Разрешенные действия:

Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

Данное учебное пособие предназначено для сотрудников предприятий, занятых разработкой и изготовлением плазмохимического оборудования для повышения их квалификации путем приобретения компетенций в области плазмохимических технологий травления и осаждения материалов электронной и микросистемной техники. Пособие может быть полезно студентам старших курсов, обучаемых в рамках направлений «Наноматериалы» и «Материаловедение и технология материалов» по профилям, относящимся к технологии изделий микроэлектроники и микросистемной техники. В настоящем учебном пособии обсуждаются принципы построения плазмохимического оборудования, основанного на использовании низкотемпературной плазмы, создаваемой с помощью газовых разрядов при пониженных давлениях, основы процессов травления микроэлектронных структур, закономерности процессов плазмохимического травления и примеры их использования для травления разнообразных материалов, а также плазмохимические процессы осаждения слоев на примере нитрида кремния, как одних из наиболее сложных и трудных для практической реализации.

Печатается по решению редакционно-издательского совета Санкт-Петербургского государственного политехнического университета.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
Интернет Авторизованные пользователи Прочитать Печать Загрузить
-> Интернет Анонимные пользователи

Оглавление

  • ОГЛАВЛЕНИЕ
  • ПРЕДИСЛОВИЕ
  • ГЛАВА 1. ВАКУУМНОЕ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
  • ГЛАВА 2. ПРОЦЕССЫ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ
  • ГЛАВА 3. ПРОЦЕССЫ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ СЛОЕВ
  • ГЛАВА 4. ЗАКОНОМЕРНОСТИ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНОК НИТРИДА КРЕМНИЯ В УСТАНОВКАХ С УДАЛЕННОЙ ПЛАЗМОЙ
  • ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Статистика использования

stat Количество обращений: 27
За последние 30 дней: 3
Подробная статистика