Александров, Сергей Евгеньевич. Плазмохимические процессы и оборудование: учебное пособие / С. Е. Александров, А. А. Уваров; Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. — Санкт-Петербург: Изд-во Политехн. ун-та, 2012 (Санкт-Петербург, 2020). — 1 файл (16,2 Мб). — (Вакуумная техника). — Загл. с титул. экрана. — Цифровая копия печатной публикации 2012 г. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/si20-676.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/2/si20-676. — Текст: электронный