Учебное пособие посвящено описанию основных закономерностей физики разреженных газов, теоретических основ процесса откачки газов и паров, взаимодействию газов с поверхностью, технике получения вакуума, измерения полных и парциальных давлений, основам построения вакуумных систем. Описаны основы общей теории рефрижераторов и ожижителей; общие принципы построения схем криогенных установок, представлены принципиальные схемы наиболее распространенных рефрижераторов с нестационарными потоками. Предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по образовательным программам «Молекулярная электроника» и «Биоэлектроника» направления подготовки магистров «Техническая физика», предусматривающим изучение и использование вакуумной физики и физики низких температур. Может быть использовано обучающимися по направлению «Электроника и микроэлектроника», а также аспирантами и специалистами, работающими в экспериментальной технической физике. Пособие может быть полезно в системах повышения квалификации, в учреждениях дополнительного профессионального образования.

Печатается по решению редакционно-издательского совета Санкт-Петербургского государственного политехнического университета.

• СОДЕРЖАНИЕ
• Введение
• 1. Методы получения вакуума
• 2. Методы получения криогенных температур
• Заключение
• Библиографический список