Впервые в рамки учебного пособия вводится комплекс вопросов, связанных с использованием для диагностики поверхностей твердых тел нового метода ионной оже-спектроскопии. Рассмотрены основы методики измерения оже-спектров с учетом специфики возбуждения ионным ударом. Описаны важнейшие закономерности явления и механизмы создания оже-электронов при бомбардировке материалов ионами с энергией порядка десятков килоэлектронвольт. Дана общая характеристика ионной оже-спектроскопии как метода анализа поверхности и приведены конкретные примеры ее практического использования. Пособие предназначено для студентов старших курсов специальностей 0641 и 0604, а также может быть полезно студентам, аспирантам и инженерам близких по профилю специальностей, имеющих отношение к анализу поверхностей и ионной бомбардировке твердых тел.

• ОГЛАВЛЕНИЕ
• Введение
• Глава 1. Основы электронной оже-спектроскопии
• Глава 2. Особенности методики измерений и приборов для ионной оже-спектроскопии
• Глава 3. Основные закономерности эмиссии оже-электронов при облучении твердых тел ионами средних/ энергий
• Глава 4. Механизм возбуждения оже-электронов ионами средних энергий
• Глава 5. Структура спектров оже-электронов при ионном возбуждении
• Глава 6. Применение спектроскопии оже-электронов при ионном возбуждении для анализа поверхности твердых тел
• Заключение
• Список литературы