Таблица | Карточка | RUSMARC | |
Разрешенные действия: –
Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Группа: Анонимные пользователи Сеть: Интернет |
Аннотация
Пособие соответствует государственному образовательному стандарту по дисциплине "Физико-химические основы технологии полупроводников" для студентов, обучающихся по программе бакалавров по направлению 550100 "Техническая физика". Рассмотрены основные физико-химические инструменты полупроводниковой технологии - пучковые потоки, низкотемпературная плазма, газофазная эпитаксия. Изучение этих разделов является особенно полезным на начальных этапах участия студентов в реальных условиях научных исследований, как экспериментальных (технологических и материаловедческих), так и теоретических. Предназначено для студентов, обучающихся по специальностям 553101 "Прикладная физика твердого тела", 553102 "Физика и техника полупроводников", студентам старших курсов и аспирантам, специализирующихся в области технологии и исследования твердого тела. Предназначено для студентов физико-технического факультета.
Печатается по решению редакционно-издательского совета Санкт-Петербургского государственного политехнического университета.
Права на использование объекта хранения
Место доступа | Группа пользователей | Действие | ||||
---|---|---|---|---|---|---|
Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все | |||||
Интернет | Авторизованные пользователи СПбПУ | |||||
Интернет | Анонимные пользователи |
Оглавление
- ОГЛАВЛЕНИЕ
- Введение
- Глава 1. Планарная технология полупроводников
- Глава 2. Взаимодействие корпускулярных потоков с твердым телом
- Глава 3. Взаимодействие электронных потоков с твердым телом
- Глава 4. Физико-химические превращения в низкотемпературной плазме
- Глава 5. Осаждения пленок в процессе ионно-плазменного распыления
- Приложение
- Библиографический список
Статистика использования
Количество обращений: 9
За последние 30 дней: 2 Подробная статистика |