Бобыль, Александр Васильевич. Физико-химические основы технологии полупроводников. Пучковые и плазменные процессы в планарной технологии: учебное пособие / А. В. Бобыль, С. Ф. Карманенко; Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. — Санкт-Петербург: Изд-во Политехн. ун-та, 2005 (Санкт-Петербург, 2021). — 1 файл (5,83 Мб). — Загл. с титул. экрана. — Цифровая копия печатной публикации 2005 г. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/si21-107.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/2/si21-107. — Текст: электронный
|
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
|
Год 2021
|
1
|
0
|
3
|
0
|
4
|
|
Год 2022
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Год 2023
|
1
|
0
|
1
|
0
|
2
|
|
Год 2024
|
1
|
0
|
1
|
0
|
2
|
|
Всего
|
4
|
0
|
5
|
0
|
9
|
