Кирсанова, Татьяна Сергеевна. Формирование тонких пленок: учебное пособие / Т. С. Кирсанова; Ленинградский политехнический институт имени М. И. Калинина. — Ленинград: ЛПИ, 1983 (Санкт-Петербург, 2021). — 1 файл (4,40 Мб). — Загл. с титул. экрана. — Цифровая копия печатной публикации 1983 г. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/si21-491.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/2/si21-491. — Текст: электронный
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
Год 2021
|
1
|
0
|
2
|
0
|
3
|
Всего
|
1
|
0
|
2
|
0
|
3
|