?

Details
Table Card RUSMARC
Title: Технология материалов электронной техники. Процессы химического осаждения из газовой фазы: учебное пособие
Creators: Александров Сергей Евгеньевич
Organization: Санкт-Петербургский государственный политехнический университет
Imprint: Санкт-Петербург: Изд-во Политехн. ун-та, 2005
Electronic publication: Санкт-Петербург, 2021
Collection: Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция
Subjects: Осаждение (хим.)
UDC: 621.382(075.8)
Document type: Tutorial
File type: PDF
Language: Russian
Speciality code (FGOS): 04.00.00
Speciality group (FGOS): 040000 - Химия
DOI: 10.18720/SPBPU/2/si21-994
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key: RU\SPSTU\edoc\66432

Allowed Actions: –

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Учебное пособие соответствует государственному образовательному стандарту и освещает один из разделов дисциплины «Технология материалов электронной техники» подготовки специалистов по специальности 240306 «Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники», а также подготовки магистров по направлению 150600 «Материаловедение и технология новых материалов». Кроме того, пособие может быть полезно для подготовки специалистов по специальности 150108 «Порошковая металлургия, композиционные материалы и покрытия». Рассмотрены физико-химические основы процессов химического осаждения из газовой фазы. Особое внимание уделено экспериментальным методам исследования процессов химического осаждения из газовой фазы современными инструментальными методами. Предназначено для студентов пятого курса факультета технологии и исследования материалов, изучающих дисциплину «Технология материалов электронной техники» в рамках специальной подготовки.

Печатается по решению редакционно-издательского совета Санкт-Петербургского государственного политехнического университета.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
Internet Authorized users SPbPU Read Print Download
-> Internet Anonymous

Table of Contents

  • СОДЕРЖАНИЕ
  • Введение
  • 1. Сущность CVD процессов
  • 2. Техника процессов химического осаждения из газовой фазы
  • 3. Исследование физико-химических закономерностей CVD процессов
  • 4. Выявление закономерностей процессов химического осаждения из газовой фазы с привлечением инструментальных методов исследования технологической среды
  • Заключение
  • Литература

Usage statistics

stat Access count: 91
Last 30 days: 2
Detailed usage statistics