Проводится численное 3d моделирование переноса электрического заряда и низковольтной электронной эмиссии в наноразмерной системе, включающей в себя кремниевую подложку с неоднородным распределением легирующей примеси и островковое углеродное покрытие. Используется метод конечных элементов и среда моделирования COMSOL.

Charge transport and low-field electron emission prosesses has been investigated using numerical 3d modeling in nanoscale system consisting of nano-islands on silicon substrate with nonuniform dopant distribution. The computer simulations were performed by the finite element method in COMSOL Multiphysics.