Исследована зависимость параметра кристаллической решетки SmS от температуры подложки, проведена оценка влияния технологических параметров и отжига на структурные особенности тонких пленок. Проведено сравнение зависимостей параметров кристаллических решеток и областей когерентного рассеяния от толщины напыляемых пленок LaS и SmS. Исследовано отклонение от закона Вегарда в тонких поликристаллических пленках состава Sm1-xLnxS, где Ln - Gd, Eu.

Dependence of SmS lattice parameter on substrate temperature was investigated, the estimation of influence of technological parameters and annealing on structural features of thin films was conducted. Comparison of dependences of lattice parameters and coherent scattering regions on the thickness LaS and SmS evaporated films was spent. The deviation from the Vegard's law in Sm1-xLnxS thin polycrystalline films, where Ln - Gd, Eu, was investigated.