Янкевич, Глеб Андреевич. Оптимизация процесса плазмохимического травления монокристаллического кварца [Электронный ресурс]: магистерская диссертация: 22.04.01 / Г. А. Янкевич; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт металлургии, машиностроения и транспорта ; науч. рук. С. Е. Александров. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 1,74 МБ). — Санкт-Петербург, 2016. — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Текстовый файл. — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/v16-3043.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/v16-3043>.
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
Вчера
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
Последние 30 дней
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
Последние 365 дней
|
1
|
0
|
2
|
0
|
3
|
За все время
|
162
|
0
|
1 068
|
0
|
1 230
|