Детальная информация
Название | Получение абсолютно калиброванных спектров излучения плотной Xe плазмы в EUV-диапазоне: бакалаврская работа: 03.03.02 |
---|---|
Авторы | Буторин Павел Сергеевич |
Научный руководитель | Смирнов Александр Сергеевич |
Организация | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций |
Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2017 |
Коллекция | Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция |
Тематика | Лазерная плазма; Лазерное излучение; Ксенон; EUV литография; спектры излучения; Брэгговские зеркала |
Тип документа | Выпускная квалификационная работа бакалавра |
Тип файла | |
Язык | Русский |
Уровень высшего образования | Бакалавриат |
Код специальности ФГОС | 03.03.02 |
Группа специальностей ФГОС | 030000 - Физика и астрономия |
DOI | 10.18720/SPBPU/2/v17-2543 |
Права доступа | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\39984 |
Дата создания записи | 28.07.2017 |
Разрешенные действия
–
Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Группа | Анонимные пользователи |
---|---|
Сеть | Интернет |
Представленная работа ориентирована на обоснование перевода EUV литографии на рабочую длину волны ?= 11,2 нм, для последующего внедрения в промышленное производство. Целью исследования является получение абсолютно калиброванного спектра плотной Xe плазмы, а из него - соотношения интенсивностей на длинах волн ?= 11,2 нм и ?= 13,5 нм. Для проведения измерений использовались Si/Mo и Mo/Be интерференционные зеркала, с помощью которых была измерена спектральная плотность излучения, попадающего в окно приёмника, как функция от длины волны в полосах 11÷11,8 и 12,8÷14,2 нм соответственно. Также была проведена абсолютная калибровка спектров излучения Xe плазмы, полученных независимо ранее. Измерения с Mo/Be зеркалом проводилась впервые в мире.
Место доступа | Группа пользователей | Действие |
---|---|---|
Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все |
|
Интернет | Авторизованные пользователи СПбПУ |
|
Интернет | Анонимные пользователи |
|
Количество обращений: 299
За последние 30 дней: 0