Детальная информация

Название: Получение абсолютно калиброванных спектров излучения плотной Xe плазмы в EUV-диапазоне: бакалаврская работа: 03.03.02
Авторы: Буторин Павел Сергеевич
Научный руководитель: Смирнов Александр Сергеевич
Организация: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Выходные сведения: Санкт-Петербург, 2017
Коллекция: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Тематика: Лазерная плазма; Лазерное излучение; Ксенон; EUV литография; спектры излучения; Брэгговские зеркала
Тип документа: Выпускная квалификационная работа бакалавра
Тип файла: PDF
Язык: Русский
Код специальности ФГОС: 03.03.02
Группа специальностей ФГОС: 030000 - Физика и астрономия
DOI: 10.18720/SPBPU/2/v17-2543
Права доступа: Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Разрешенные действия:

Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

Представленная работа ориентирована на обоснование перевода EUV литографии на рабочую длину волны ?= 11,2 нм, для последующего внедрения в промышленное производство. Целью исследования является получение абсолютно калиброванного спектра плотной Xe плазмы, а из него - соотношения интенсивностей на длинах волн ?= 11,2 нм и ?= 13,5 нм. Для проведения измерений использовались Si/Mo и Mo/Be интерференционные зеркала, с помощью которых была измерена спектральная плотность излучения, попадающего в окно приёмника, как функция от длины волны в полосах 11÷11,8 и 12,8÷14,2 нм соответственно. Также была проведена абсолютная калибровка спектров излучения Xe плазмы, полученных независимо ранее. Измерения с Mo/Be зеркалом проводилась впервые в мире.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
Интернет Авторизованные пользователи Прочитать Печать Загрузить
-> Интернет Анонимные пользователи

Статистика использования

stat Количество обращений: 297
За последние 30 дней: 0
Подробная статистика