Details

Title: Исследование ионных потоков на электрод в ВЧ-разрядах низкого давления: бакалаврская работа: 03.03.02
Creators: Панкратьев Павел Александрович
Scientific adviser: Смирнов Александр Сергеевич
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Imprint: Санкт-Петербург, 2017
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: Плазменная обработка; Ионы; Электрический разряд
Document type: Bachelor graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Speciality code (FGOS): 03.03.02
Speciality group (FGOS): 030000 - Физика и астрономия
Links: http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/v17-2547
Rights: Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Allowed Actions: Read Download (1.0 Mb) You need Flash Player to read document

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Данная работа посвящена экспериментальному исследованию функций распределения по энергиям (ФРЭ) ионов, в высокочастотном емкостном (ВЧЕ) разряде низкого давления. Основной целью данной работы было исследование ФРЭ ионов на частоте 440 кГц. Экспериментальные данные показали, что в энергетическом спектре ионов на данной частоте присутствуют ионы высоких энергий. Ионы таких энергий не появляются в разрядах на частоте 13.56 МГц при схожих значениях амплитуды прикладываемого к разряду ВЧ напряжения.

Document access rights

Network User group Action
FL SPbPU Local Network All Read Print Download
-> Internet All Read Print Download

Document usage statistics

stat Document access count: 218
Last 30 days: 6
Detailed usage statistics