С 17 марта 2020 г. для ресурсов (учебные, научные, материалы конференций, статьи из периодических изданий, авторефераты диссертаций, диссертации) ЭБ СПбПУ, обеспечивающих образовательный процесс, установлен особый режим использования. Обращаем внимание, что ВКР/НД не относятся к этой категории.

Details

Title: Исследование ионных потоков на электрод в ВЧ-разрядах низкого давления: бакалаврская работа: 03.03.02
Creators: Панкратьев Павел Александрович
Scientific adviser: Смирнов Александр Сергеевич
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Imprint: Санкт-Петербург, 2017
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: Плазменная обработка; Ионы; Электрический разряд
Document type: Bachelor graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Speciality code (FGOS): 03.03.02
Speciality group (FGOS): 030000 - Физика и астрономия
DOI: 10.18720/SPBPU/2/v17-2547
Rights: Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Данная работа посвящена экспериментальному исследованию функций распределения по энергиям (ФРЭ) ионов, в высокочастотном емкостном (ВЧЕ) разряде низкого давления. Основной целью данной работы было исследование ФРЭ ионов на частоте 440 кГц. Экспериментальные данные показали, что в энергетическом спектре ионов на данной частоте присутствуют ионы высоких энергий. Ионы таких энергий не появляются в разрядах на частоте 13.56 МГц при схожих значениях амплитуды прикладываемого к разряду ВЧ напряжения.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
Internet Authorized users Read Print Download
-> Internet Anonymous

Table of Contents

  • Введение
  • 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ.
    • 1.1. Теоретические модели и основные представления физики ВЧЕ разряда.
    • 1.2. Актуальные вопросы и задачи в физике ВЧЕ разряда, относящиеся к теме дипломной работы.
      • 1.2.1. Моделирование емкостного разряда низкого давления
      • 1.2.2 Влияние понижения частоты приложенного к разряду напряжения на плазменную обработку HEMT структур.
      • 1.2.3 Анализ движения иона под действием переменного электрического поля.
    • 1.3. Выводы из обзора литературы и постановка задачи дипломной работы.
  • 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ УСТАНОВКА И МЕТОДИКА ИЗМЕРЕНИЙ.
    • 2.1. Разрядная камера и вакуумная система.
    • 2.2. Электрическая схема установки.
    • 2.3 Анализатор энергий заряженных частиц.
  • 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ РЕЗУЛТАТЫ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ.
    • 3.1. Экспериментальные результаты.
    • 3.2. Обсуждение экспериментальных результатов и выводы из работы.
  • 4. ВЫВОДЫ ИЗ ДИПЛОМНОЙ РАБОТЫ.
  • 5. СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ.

Usage statistics

stat Access count: 226
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics