С 17 марта 2020 г. для ресурсов (учебные, научные, материалы конференций, статьи из периодических изданий, авторефераты диссертаций, диссертации) ЭБ СПбПУ, обеспечивающих образовательный процесс, установлен особый режим использования. Обращаем внимание, что ВКР/НД не относятся к этой категории.

Детальная информация

Название: Исследование ионных потоков на электрод в ВЧ-разрядах низкого давления: бакалаврская работа: 03.03.02
Авторы: Панкратьев Павел Александрович
Научный руководитель: Смирнов Александр Сергеевич
Организация: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Выходные сведения: Санкт-Петербург, 2017
Коллекция: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Тематика: Плазменная обработка; Ионы; Электрический разряд
Тип документа: Выпускная квалификационная работа бакалавра
Тип файла: PDF
Язык: Русский
Код специальности ФГОС: 03.03.02
Группа специальностей ФГОС: 030000 - Физика и астрономия
DOI: 10.18720/SPBPU/2/v17-2547
Права доступа: Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Разрешенные действия:

Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

Данная работа посвящена экспериментальному исследованию функций распределения по энергиям (ФРЭ) ионов, в высокочастотном емкостном (ВЧЕ) разряде низкого давления. Основной целью данной работы было исследование ФРЭ ионов на частоте 440 кГц. Экспериментальные данные показали, что в энергетическом спектре ионов на данной частоте присутствуют ионы высоких энергий. Ионы таких энергий не появляются в разрядах на частоте 13.56 МГц при схожих значениях амплитуды прикладываемого к разряду ВЧ напряжения.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
Интернет Авторизованные пользователи Прочитать Печать Загрузить
-> Интернет Анонимные пользователи

Оглавление

  • Введение
  • 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ.
    • 1.1. Теоретические модели и основные представления физики ВЧЕ разряда.
    • 1.2. Актуальные вопросы и задачи в физике ВЧЕ разряда, относящиеся к теме дипломной работы.
      • 1.2.1. Моделирование емкостного разряда низкого давления
      • 1.2.2 Влияние понижения частоты приложенного к разряду напряжения на плазменную обработку HEMT структур.
      • 1.2.3 Анализ движения иона под действием переменного электрического поля.
    • 1.3. Выводы из обзора литературы и постановка задачи дипломной работы.
  • 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ УСТАНОВКА И МЕТОДИКА ИЗМЕРЕНИЙ.
    • 2.1. Разрядная камера и вакуумная система.
    • 2.2. Электрическая схема установки.
    • 2.3 Анализатор энергий заряженных частиц.
  • 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ РЕЗУЛТАТЫ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ.
    • 3.1. Экспериментальные результаты.
    • 3.2. Обсуждение экспериментальных результатов и выводы из работы.
  • 4. ВЫВОДЫ ИЗ ДИПЛОМНОЙ РАБОТЫ.
  • 5. СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ.

Статистика использования

stat Количество обращений: 226
За последние 30 дней: 0
Подробная статистика