Работа посвящена изготовлению и исследованию структуры, состава и электрических свойств плёнок CdXZn1-XTe на Si (100) подложке, пригодных для последующего изготовления солнечного элемента. Обоснована методика изготовления структур, оптимизированы параметры напыления плёнок. Выполнен теоретический расчёт зонных диаграмм гетероперехода Si/ CdXZn1-XTe, проанализированы механизмы токопротекания. Приводятся результаты расчёта параметров термической диффузии донорной примеси индия в плёнки CdXZn1-XTe. Определены оптимальные параметры диффузии. Экспериментально показано, что высококачественные плёнки CdXZn1-XTe на Si (100) подложке получаются при их выращивании в квазиравновесных условиях из газодинамического потока при Тконд. ≈ 350°С, а также, что введение цинка повышает качество плёнки.