?

Details
Table Card RUSMARC
Title: Изучение дефектов SiC имплантированного высокоэнергетическими ионами висмута: магистерская диссертация: 11.04.04
Creators: Школдин Виталий Алексеевич
Scientific adviser: Шустов Д. Б.; Карасев Платон Александрович
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Imprint: Санкт-Петербург, 2017
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: Катодолюминесценция; Кремний, карбиды; Висмут; Ионы; ионная имплантация; дефектообразования
UDC: 535.376(043.3); 537.534.1/.8:669.76(043.3)
Document type: Master graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Level of education: Master
Speciality code (FGOS): 11.04.04
Speciality group (FGOS): 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
DOI: 10.18720/SPBPU/2/v17-3102
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key: RU\SPSTU\edoc\44784

Allowed Actions: –

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Методом локальной катодолюминесценции был изучен результат воздействия имплантации ионов висмута с энергией 710 МэВ на карбид кремния. Был получен глубинный профиль распределения радиационных дефектов. На основании экспериментальных данных и моделирования воздействия имплантации, было установлено, что глубина образования радиационных дефектов превышает глубину проникновения ионов висмута.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
Internet Authorized users SPbPU Read Print Download
-> Internet Anonymous

Table of Contents

  • Сокращения
  • Введение
  • Литературный обзор
    • Карбид Кремния
      • Основные свойства и характеристики SiC
      • Кристаллическая структура и политипизм карбида кремния
      • Примеси в карбиде кремния
      • Глубокие центры в карбиде кремния
    • Катодолюминесценция
      • Взаимодействие электронного пучка с образцом
    • Особенности катодолюминесценции
    • Катодолюминесценция карбида кремния
    • Ионная имплантация
      • Отжиг ионно-легированных слоёв
      • Моделирование имплантации
  • Задача дипломной работы
  • Эксперимент
    • Установка
    • Образцы
    • Методика эксперимента
  • Результаты и обсуждение
    • Моделирование имплантации
    • Сопоставление результатов измерений и моделирования
  • Литература

Usage statistics

stat Access count: 609
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics