Details

Title: Плазменное травление 2D поляризованных стекол: бакалаврская работа: 22.03.01
Creators: Озерской Николай Евгеньевич
Scientific adviser: Таганцев Дмитрий Кириллович
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта
Imprint: Санкт-Петербург, 2017
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: оптотехника; наноразмеры; микрофлюидные чипы; поляризация
Document type: Bachelor graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Speciality code (FGOS): 22.03.01
Speciality group (FGOS): 220000 - Технологии материалов
DOI: 10.18720/SPBPU/2/v17-3409
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

В оптотехнике актуальной проблемой является формирование рельефа с микро- и наноразмерами. Получение определённого рельефа в заданной структуре лежит в основе разработок микрофлюидных чипов. Поляризация стекол с использованием рельефных анодных электродов в комбинации с методом плазмохимического травления может стать основой для получения 2D рельефов на поверхности стекол - по сути, новой литографической технологии, существенной особенностью которой является то, что это будет «сухая» технология.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
Internet Authorized users SPbPU Read Print Download
Internet Authorized users (not from SPbPU)
-> Internet Anonymous

Usage statistics

stat Access count: 36
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics