Исследовано газофазное осаждение композитных слоев SiO2-TiO2 с использованием тетраизопропилат титана (ТИПТ), тетраэтоксисилан (ТЭОС) и декаметилциклопентасилоксан (ДМПС). Была получена зависимость скорости осаждения и показателя преломления от соотношения парциальных давлений подаваемых в реактор реагентов. Осаждение проводилось при температуре 280 оС и давлении 2 кПа. Анализ ИК-спектров полученных образцов показал, что полученные образцы не демонстрируют никаких поглощений, присущих диоксиду титана. Можно предположить, что мы имеем дело со смесью силиката титана и диоксида кремния.