Моор, Светлана Юрьевна. Плазмохимическое травление кремния в емкостно-связанном ВЧ разряде [Электронный ресурс]: магистерская диссертация: 22.04.01 / С. Ю. Моор; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт металлургии, машиностроения и транспорта ; науч. рук. А. И. Демидов. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 2,87 Мб). — Санкт-Петербург, 2017. — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/v17-3425.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/v17-3425>.