Юдакова, Анна Александровна. Разработка технологии изменения профиля маски фоторезистивных слоев для создания омических контактов СВЧ-транзисторов на основе эпитаксиальных гетероструктур AlGaAs/GaAs [Электронный ресурс]: магистерская диссертация: 22.04.01 / А. А. Юдакова; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт металлургии, машиностроения и транспорта ; науч. рук. Ю. В. Соловьев. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 1,78 Мб). — Санкт-Петербург, 2017. — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/v17-3427.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/v17-3427>.
Period
|
Read
|
Print
|
Copy
|
Open
|
Total
|
Yesterday
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
Last 30 days
|
1
|
0
|
1
|
0
|
2
|
Last 365 days
|
2
|
0
|
1
|
0
|
3
|
All time
|
96
|
0
|
1,157
|
0
|
1,253
|