Данная работа посвящена исследованию результатов пробоя поверхностей микроструктур на основе ITO-плёнок с помощью атомно-силового микроскопа. В первой части работы подробно рассматриваются литературные данные об ITO-структурах, о нанесенных на структуру полимерных слоях (ПК и ПММА) и о методах СЗМ. Во второй части рассмотрена экспериментальная установка для исследования с высоким разрешением структуры поверхности (ИНТЕГРА Аура). Также проведены измерения профиля треков электрического пробоя в указанных структурах. Обсуждены полученные результаты.