Представлены результаты экспериментального изучения методами атомно-силовой микроскопии изменения топографии поверхности кремниевых пластин, обработанных различными способами. Установлено, что в процессе обработки на поверхности кремниевой пластины формируются пирамидоидальные структуры, средняя высота которых лежит в пределах от 1,0 нм и до 2,2 нм в зависимости от способа обработки. Показано, что методика АСМ позволяет визуализировать рельеф текстурированной поверхности кремниевой пластины, обработанной различными способами.