В данной работе были исследованы поверхности металлических пленок с помощью методик атомно-силовой микроскопии. Пленки наносились на кремниевые подложки методом магнетронного распыления. Изучение топографии раскрывает принципиальное различие в механизмах роста пленок титана и молибдена. Используя те же методики, был проведен сравнительный анализ углеродных пленок, легированных металлическими примесями до и после облучения быстрыми ионами серебра. Было обнаружено, что степень изменения поверхности оказалась малой, в отличие от тех изменений морфологии, которые наблюдались в изображениях СЭМ.