При помощи метода рамановской спектроскопии исследовано изменение строения тонких алмазоподобных углеродных пленок при их облучении ускоренными ионами фосфора. Получен и проанализирован большой объем экспериментальных данных в широком диапазоне доз ионов и длин волн рамановского возбуждения. На основании полученных зависимостей можно сказать, что в алмазоподобных пленках, выращенных методом PECVD исходно присутствует значительное количество ароматических колец. С ростом доз ионов кольца разрушаются и формируют разупорядоченную сетку углеродных цепочек. Кинетика перестройки структуры пленки при ее облучении совпадает с ранее исследованным ходом изменения внутренних механических напряжений, кинетикой свеллинга пленок и изменению абсолютных значений соотношения sp3 и sp2 связей.