Таблица | Карточка | RUSMARC | |
Разрешенные действия: –
Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Группа: Анонимные пользователи Сеть: Интернет |
Аннотация
В данной работе проведены исследования влияния технологических параметров процесса ионно-лучевого травления на скорость травления пьезоматериалов, а в частности, влияние мощности ICP – источника и угла падения ионов на скорость травления. Выявлены оптимальные параметры процесса ИЛТ для достижения максимальной скорости травления.
Права на использование объекта хранения
Место доступа | Группа пользователей | Действие | ||||
---|---|---|---|---|---|---|
Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все | |||||
Интернет | Авторизованные пользователи СПбПУ | |||||
Интернет | Анонимные пользователи |
Статистика использования
Количество обращений: 210
За последние 30 дней: 0 Подробная статистика |