Целью настоящей работы являлось исследование структуры и свойств тонких слоёв ЦТС, состав которых соответствовал области морфотропной фазовой границы. Методом ВЧ магнетронного осаждения на подложке Al2O3/Ti/Pt были изготовлены перовскитовые плёнки ЦТС, сформированные в процессе высокотемпературного отжига в диапазоне 575-625 оС с шагом 5 оС, получены зависимости изменения характера микроструктуры, состава и диэлектрических свойств. Показано, что зависимости состава, величин диэлектрической проницаемости и внутреннего поля немонотонно изменяются с ростом температуры отжига. Полученные результаты качественно объяснены с использованием модели конкурирующих механизмов роста фазы перовскита.