С 17 марта 2020 г. для образовательных ресурсов Электронной библиотеки СПбПУ установлен особый режим их использования

Детальная информация

Название: Диэлектрические свойства и радиационная стойкость слоев оксида алюминия, полученных методом атомно-слоевого осаждения: выпускная квалификационная работа магистра: 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника ; 11.04.04_03 – Органическая электроника
Авторы: Долженко Дмитрий Игоревич
Научный руководитель: Капралова Виктория Маратовна
Организация: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Выходные сведения: Санкт-Петербург, 2018
Коллекция: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Тематика: Диэлектрики — Пробой; Диэлектрическая проницаемость; атомно-слоевое осаждение; радиационная стойкость; подвижность носителей заряда
УДК: 537.226
Тип документа: Выпускная квалификационная работа магистра
Тип файла: PDF
Язык: Русский
Код специальности ФГОС: 11.04.04
Группа специальностей ФГОС: 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
Ссылки: Отзыв руководителя
DOI: 10.18720/SPBPU/2/v18-2578
Права доступа: Свободный доступ из сети Интернет (чтение)

Разрешенные действия:

Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

Измерены диэлектрические параметры слоев оксида алюминия, нанесенных методом ALD. Определены диэлектрические параметры оксида алюминия и построены их частотные зависимости. Получены данные о радиационной стойкости. Составлены карты диэлектрической однородности и толщины слоя диэлектрика.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать
Интернет Авторизованные пользователи Прочитать
-> Интернет Анонимные пользователи

Статистика использования документа

stat Количество обращений: 44
За последние 30 дней: 2
Подробная статистика