Детальная информация

Название Диэлектрические свойства и радиационная стойкость слоев оксида алюминия, полученных методом атомно-слоевого осаждения: выпускная квалификационная работа магистра: 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника ; 11.04.04_03 – Органическая электроника
Авторы Долженко Дмитрий Игоревич
Научный руководитель Капралова Виктория Маратовна
Организация Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Выходные сведения Санкт-Петербург, 2018
Коллекция Выпускные квалификационные работы ; Общая коллекция
Тематика Диэлектрики — Пробой ; Диэлектрическая проницаемость ; атомно-слоевое осаждение ; радиационная стойкость ; подвижность носителей заряда
УДК 537.226
Тип документа Выпускная квалификационная работа магистра
Тип файла PDF
Язык Русский
Уровень высшего образования Магистратура
Код специальности ФГОС 11.04.04
Группа специальностей ФГОС 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
Ссылки Отзыв руководителя
DOI 10.18720/SPBPU/2/v18-2578
Права доступа Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Ключ записи RU\SPSTU\edoc\58155
Дата создания записи 28.11.2018

Разрешенные действия

Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети

Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети

Группа Анонимные пользователи
Сеть Интернет

Измерены диэлектрические параметры слоев оксида алюминия, нанесенных методом ALD. Определены диэлектрические параметры оксида алюминия и построены их частотные зависимости. Получены данные о радиационной стойкости. Составлены карты диэлектрической однородности и толщины слоя диэлектрика.

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все
Прочитать Печать Загрузить
Интернет Авторизованные пользователи СПбПУ
Прочитать Печать Загрузить
Интернет Анонимные пользователи

Количество обращений: 59 
За последние 30 дней: 0

Подробная статистика