Детальная информация
| Название | Диэлектрические свойства и радиационная стойкость слоев оксида алюминия, полученных методом атомно-слоевого осаждения: выпускная квалификационная работа магистра: 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника ; 11.04.04_03 – Органическая электроника |
|---|---|
| Авторы | Долженко Дмитрий Игоревич |
| Научный руководитель | Капралова Виктория Маратовна |
| Организация | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций |
| Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2018 |
| Коллекция | Выпускные квалификационные работы ; Общая коллекция |
| Тематика | Диэлектрики — Пробой ; Диэлектрическая проницаемость ; атомно-слоевое осаждение ; радиационная стойкость ; подвижность носителей заряда |
| УДК | 537.226 |
| Тип документа | Выпускная квалификационная работа магистра |
| Тип файла | |
| Язык | Русский |
| Уровень высшего образования | Магистратура |
| Код специальности ФГОС | 11.04.04 |
| Группа специальностей ФГОС | 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи |
| Ссылки | Отзыв руководителя |
| DOI | 10.18720/SPBPU/2/v18-2578 |
| Права доступа | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\58155 |
| Дата создания записи | 28.11.2018 |
Разрешенные действия
–
Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
| Группа | Анонимные пользователи |
|---|---|
| Сеть | Интернет |
Измерены диэлектрические параметры слоев оксида алюминия, нанесенных методом ALD. Определены диэлектрические параметры оксида алюминия и построены их частотные зависимости. Получены данные о радиационной стойкости. Составлены карты диэлектрической однородности и толщины слоя диэлектрика.
| Место доступа | Группа пользователей | Действие |
|---|---|---|
| Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все |
|
| Интернет | Авторизованные пользователи СПбПУ |
|
| Интернет | Анонимные пользователи |
|
Количество обращений: 59
За последние 30 дней: 0
