Table | Card | RUSMARC | |
Allowed Actions: –
Action 'Read' will be available if you login or access site from another network
Action 'Download' will be available if you login or access site from another network
Group: Anonymous Network: Internet |
Annotation
Объектом исследования являются покрытия, полученные методами магнетронного и электродугового испарения. Цель работы – получение изоляционных покрытий AlN методами магнетронного распыления и вакуумно-дугового испарения, изучение свойств полученных покрытий, определение наиболее пригодного метода для получения AlN покрытий, а также анализ поведения параметров разряда во время процесса напыления. В процессе работы проводились эксперименты по напылению в вакуумной установке и анализ полученных покрытий. В результате исследования было выяснено, что покрытия, полученные магнетронным распылением в режиме стабилизации по напряжению, показывают наилучшие свойства, также при наличии ограничения по толщине будут наиболее пригодны покрытия, полученные комбинированным способом.
Document access rights
Network | User group | Action | ||||
---|---|---|---|---|---|---|
ILC SPbPU Local Network | All | |||||
Internet | Authorized users SPbPU | |||||
Internet | Anonymous |
Table of Contents
- ВВЕДЕНИЕ
- ГЛАВА 1. ТЕХНИКА МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ И ЭЛЕКТРОДУГОВОГО ИСПАРЕНИЯ
- 1.1. Магнетронное распыление
- 1.2. Электродуговое испарение
- 1.2.1. Фильтрация плазмы с ЭДИ
- 1.3. Схема проведения экспериментов
- ГЛАВА 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
- 2.2. Вакуумная камера и внутрикамерная оснастка
- 2.3. Система вакуумной откачки
- 2.4. Система подачи технологических газов
- 2.5. Система охлаждения
- 2.6. Система прогрева вакуумной камеры
- 2.7. Устройство ионной очистки вакуумной камеры и подложек в тлеющем разряде
- 2.8. Электродуговой источник
- 2.8.1. Плазмооптическая система фильтрации от капельной фазы плазмы электродугового источника
- 2.9. Магнетронная распылительная система
- 2.10. Электрооборудование
- 2.11. Средства исследования покрытий
- ГЛАВА 3. ЭКСПЕРИМЕНТЫ ПО ЭЛЕКТРОДУГОВОМУ ОСАЖДЕНИЮ AlN
- 3.1. Постановка эксперимента
- 3.2. Исследование плазмы, выходящей из сепаратора при помощи цилиндров Фарадея.
- 3.3. Результаты экспериментов по электродуговому осаждению AlN
- 3.4. Исследование на пробой образцов, напыленных с помощью ЭДИ, с использованием сепаратора и локального объема газонапуска
- 3.5. Выводы
- ГЛАВА 4. ЭКСПЕРИМЕНТЫ ПО МАГНЕТРОННОМУ ОСАЖДЕНИЮ AlN
- 4.1. Постановка эксперимента
- 4.2. Результаты экспериментов по магнетронному осаждению AlN в режиме стабилизации по мощности
- 4.2.1 Влияние отжига на покрытые AlN образцы из нержавеющей стали
- 4.2.2. Напыление нитрида алюминия на образцы из карбида вольфрама
- 4.2.3. Напыление AlN на подложку из тантала
- 4.3. Выводы
- 4.4. Результаты осаждения покрытий AlN в режиме стабилизации по напряжению
- ГЛАВА 5. ЭКСПЕРИМЕНТЫ С КОМБИНИРОВАННЫМ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИМ ПРОЦЕССОМ ОСАЖДЕНИЯ AlN
- 5.1. Описание эксперимента
- 5.2. Результаты экспериментов с комбинированным технологическим процессом осаждения AlN
- 5.2. Выводы
- ГЛАВА 6. ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ КАРТА ОПТИМАЛЬНОГО ПРОЦЕССА ОСАЖДЕНИЯ AlN
- 6.1. Технологическая карта процесса нанесения покрытия с помощью магнетрона
- 6.2. Технологическая карта процесса электродугового напыления
- ЗАКЛЮЧЕНИЕ
- СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
- ПРИЛОЖЕНИЕ №1
- ПРИЛОЖЕНИЕ №2
- ПРИЛОЖЕНИЕ №3
- ПРИЛОЖЕНИЕ №4
- ПРИЛОЖЕНИЕ №5
- ПРИЛОЖЕНИЕ №6
- ПРИЛОЖЕНИЕ №7
Usage statistics
Access count: 0
Last 30 days: 0 Detailed usage statistics |