Объектом исследования являются покрытия, полученные методами магнетронного и электродугового испарения. Цель работы – получение изоляционных покрытий AlN методами магнетронного распыления и вакуумно-дугового испарения, изучение свойств полученных покрытий, определение наиболее пригодного метода для получения AlN покрытий, а также анализ поведения параметров разряда во время процесса напыления. В процессе работы проводились эксперименты по напылению в вакуумной установке и анализ полученных покрытий. В результате исследования было выяснено, что покрытия, полученные магнетронным распылением в режиме стабилизации по напряжению, показывают наилучшие свойства, также при наличии ограничения по толщине будут наиболее пригодны покрытия, полученные комбинированным способом.

• ВВЕДЕНИЕ
• ГЛАВА 1. ТЕХНИКА МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ И ЭЛЕКТРОДУГОВОГО ИСПАРЕНИЯ
  • 1.1. Магнетронное распыление
  • 1.2. Электродуговое испарение
    • 1.2.1. Фильтрация плазмы с ЭДИ
  • 1.3. Схема проведения экспериментов
• ГЛАВА 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
  • 2.2. Вакуумная камера и внутрикамерная оснастка
  • 2.3. Система вакуумной откачки
  • 2.4. Система подачи технологических газов
  • 2.5. Система охлаждения
  • 2.6. Система прогрева вакуумной камеры
  • 2.7. Устройство ионной очистки вакуумной камеры и подложек в тлеющем разряде
  • 2.8. Электродуговой источник
    • 2.8.1. Плазмооптическая система фильтрации от капельной фазы плазмы электродугового источника
  • 2.9. Магнетронная распылительная система
  • 2.10. Электрооборудование
  • 2.11. Средства исследования покрытий
• ГЛАВА 3. ЭКСПЕРИМЕНТЫ ПО ЭЛЕКТРОДУГОВОМУ ОСАЖДЕНИЮ AlN
  • 3.1. Постановка эксперимента
  • 3.2. Исследование плазмы, выходящей из сепаратора при помощи цилиндров Фарадея.
  • 3.3. Результаты экспериментов по электродуговому осаждению AlN
  • 3.4. Исследование на пробой образцов, напыленных с помощью ЭДИ, с использованием сепаратора и локального объема газонапуска
  • 3.5. Выводы
• ГЛАВА 4. ЭКСПЕРИМЕНТЫ ПО МАГНЕТРОННОМУ ОСАЖДЕНИЮ AlN
  • 4.1. Постановка эксперимента
  • 4.2. Результаты экспериментов по магнетронному осаждению AlN в режиме стабилизации по мощности
    • 4.2.1 Влияние отжига на покрытые AlN образцы из нержавеющей стали
    • 4.2.2. Напыление нитрида алюминия на образцы из карбида вольфрама
    • 4.2.3. Напыление AlN на подложку из тантала
  • 4.3. Выводы
  • 4.4. Результаты осаждения покрытий AlN в режиме стабилизации по напряжению
• ГЛАВА 5. ЭКСПЕРИМЕНТЫ С КОМБИНИРОВАННЫМ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИМ ПРОЦЕССОМ ОСАЖДЕНИЯ AlN
  • 5.1. Описание эксперимента
  • 5.2. Результаты экспериментов с комбинированным технологическим процессом осаждения AlN
  • 5.2. Выводы
• ГЛАВА 6. ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ КАРТА ОПТИМАЛЬНОГО ПРОЦЕССА ОСАЖДЕНИЯ AlN
  • 6.1. Технологическая карта процесса нанесения покрытия с помощью магнетрона
  • 6.2. Технологическая карта процесса электродугового напыления
• ЗАКЛЮЧЕНИЕ
• СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
• ПРИЛОЖЕНИЕ №1
• ПРИЛОЖЕНИЕ №2
• ПРИЛОЖЕНИЕ №3
• ПРИЛОЖЕНИЕ №4
• ПРИЛОЖЕНИЕ №5
• ПРИЛОЖЕНИЕ №6
• ПРИЛОЖЕНИЕ №7