Детальная информация

В данной работе описывается метод золь-гель синтеза стекломатерила, который применяется для защиты p-n-перехода в кремниевых СВЧ pin-диодах. Здесь рассмотрено устройство и применение кремниевых СВЧ pin-диодов, материалы для защиты p-n-перехода и требования к ним, сведения о золь-гель технологии в области получения стекломатериалов, а также методы нанесения защитного покрытия. Разработан технологический процесс приготовления стекломатериала и способа формирования из него защитного покрытия посредством электрофоретического осаждения с последующим оплавлением. В работе приведены результаты исследования полученного стекломатериала(химический анализ состава стекломатериала, рентгенофазовый и гранулометрический анализ стекломатериала, анализ с использованием растрового электронного микроскопа). Произведён контроль параметров остеклованных диодов до и после испытаний на термоциклирование и влагоустойчивость.