Пособие содержит теоретические основы сканирующей зондовой микроскопии и физические принципы атомно-силовой и туннельной микроскопии. Приводится описание лабораторного стенда на основе сканирующего мультимикроскопа СММ 2000 и лабораторных работ с последующей обработкой полученных результатов. Приобретенные в ходе выполнения работ навыки позволят студентам в дальнейшем самостоятельно работать на подобном оборудовании при выполнении научно-исследовательских работ. Предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки магистров "Техническая физика". Может быть использовано по направлению "Электроника и микроэлектроника.