С 17 марта 2020 г. для ресурсов (учебные, научные, материалы конференций, статьи из периодических изданий, авторефераты диссертаций, диссертации) ЭБ СПбПУ, обеспечивающих образовательный процесс, установлен особый режим использования. Обращаем внимание, что ВКР/НД не относятся к этой категории.

Details

Title: Оптимизация параметров Bosch-процесса для получения микромеханических структур по технологии кремний на стекле: выпускная квалификационная работа магистра: 22.04.01 - Материаловедение и технологии материалов ; 22.04.01_01 - Материаловедение наноматериалов и компонентов электронной техники
Creators: Алиева Александра Игоревна
Scientific adviser: Мишин Максим Валерьевич
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта
Imprint: Санкт-Петербург, 2019
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: Кремний; Стекло; Травление металлов; Гироскопы; Датчики; bosch-процесс; травление кремния; микромеханические гироскопы; капсулированные датчики
UDC: 621.794.44:669.782(043.3); 669.782:666.1/.28(043.3)
Document type: Master graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Speciality code (FGOS): 22.04.01
Speciality group (FGOS): 220000 - Технологии материалов
Links: Отзыв руководителя; Рецензия; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований
DOI: 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-1069
Rights: Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

В настоящей работе изложены литературные и экспериментальные данные по проведению травления монокристаллического кремния на стекле методом Bosch. Bosch-процесс проводился с использованием гексафторида серы SF6 и перфторциклобутана C4F8 на установке Oxford Instruments Plasma Pro Estrelas 100. Были выявлены основные зависимости технологических характеристик от параметров газового разряда, а также влияние характеристик на выходные параметры микроэлектромеханических датчиков.

Theoretical and experimental data on etching of monocrystalline silicon on glass using Bosch-process are considered in the present study. The Bosch process was carried out using sulfur hexafluoride SF6 and perfluorocyclobutane C4F8 on the Oxford Instruments Plasma Pro Estrelas 100. The main dependences of the process characteristics on the gas discharge parameters and the effect of the characteristics on the output parameters of microelectromechanical sensors were identified.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
Internet Authorized users Read Print Download
-> Internet Anonymous

Document usage statistics

stat Document access count: 57
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics