Маловичко, Виктор Александрович. Синтез пленки оксида кремния в диэлектрическом барьерном разряде атмосферного давления [Электронный ресурс]: выпускная квалификационная работа магистра: 22.04.01 - Материаловедение и технологии материалов ; 22.04.01_01 - Материаловедение наноматериалов и компонентов электронной техники = Synthesis of silicon oxide film in atmospheric pressure barrier discharge / В. А. Маловичко; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт металлургии, машиностроения и транспорта ; науч. рук. М. В. Мишин. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 1,0 Мб). — Санкт-Петербург, 2019. — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/vr19-1082.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-1082>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1082-o.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1082-r.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1082-a.pdf>.